ํ๋ฏธ๊ฒฝ์ ์ด์ฉํ ์ฐ๊ตฌ
์ผ์์ก ๋ฐ ์ผ์ ๋ถ์ / ์
์์ธํธ์ฐ ์นด๋ฏผ | ๋ฉํธ๋ ๋ธ๋ฃจ | ์์ค์ | ๊น์์ก | ์ผ๋์ค ๊ทธ๋ฆฐ B | ํค๋งํก์ค๋ฆฐ | |
์ผ์ ๋ถ์ | ํต | ํต | ์ธํฌ์ง | ํต/์ธํฌ์ง | ๋ฏธํ ์ฝ๋๋ฆฌ์ | ํต |
์ | ์ ์ | ์ฒญ์ | ์ ์ | ์ฒญ์/์ ์ | ๋ น์ | ๋ณด๋ผ์ |
ํ๋ฏธ๊ฒฝ์ ํด์๋ ฅ
๋ถํด๊ฑฐ๋ฆฌ (๋ถํด๋ฅ) = $\frac{0.61\lambda}{n\times sin \alpha}$
($\lambda$ : ๋น์ ํ์ฅ, $n$: ๋งค์ง์ ๊ตด์ ๋ฅ , $\alpha$: ์ ์ฌ๊ฐ)
$NA=n\times sin \alpha$
์ฌ๋์ ๋: 0.2mm / ๊ดํํ๋ฏธ๊ฒฝ: 0.2μm / SEM: 5nm / TEM: 0.2nm
์ ์๋ง์ดํฌ๋ก๋ฏธํฐ๋ฅผ ์ฌ์ฉํ๋ ์ด์
- ์ ์ ๋ง์ดํฌ๋ก๋ฏธํฐ ๋๊ธ์ ์๋ฃ์ ์ํด ๊ฐ๋ ค์ง์ง ์๊ธฐ ๋๋ฌธ์ด๋ค.
- ์ฌ๋ฌ ๋ฐฉํฅ์์ ํฌ๊ธฐ๋ฅผ ์ธก์ ํ ์ ์๊ธฐ ๋๋ฌธ์ด๋ค.