[์ƒ๋ช…๊ณผํ•™ II] ํ˜„๋ฏธ๊ฒฝ์„ ์ด์šฉํ•œ ์—ฐ๊ตฌ

ํ˜„๋ฏธ๊ฒฝ์„ ์ด์šฉํ•œ ์—ฐ๊ตฌ

์—ผ์ƒ‰์•ก ๋ฐ ์—ผ์ƒ‰ ๋ถ€์œ„ / ์ƒ‰

  ์•„์„ธํŠธ์‚ฐ ์นด๋ฏผ ๋ฉ”ํ‹ธ๋ Œ ๋ธ”๋ฃจ ์—์˜ค์‹  ๊น€์ž์•ก ์•ผ๋ˆ„์Šค ๊ทธ๋ฆฐ B ํ—ค๋งˆํ†ก์‹ค๋ฆฐ
์—ผ์ƒ‰ ๋ถ€์œ„ ํ•ต ํ•ต ์„ธํฌ์งˆ ํ•ต/์„ธํฌ์งˆ ๋ฏธํ† ์ฝ˜๋“œ๋ฆฌ์•„ ํ•ต
์ƒ‰ ์ ์ƒ‰ ์ฒญ์ƒ‰ ์ ์ƒ‰ ์ฒญ์ƒ‰/์ ์ƒ‰ ๋…น์ƒ‰ ๋ณด๋ผ์ƒ‰

ํ˜„๋ฏธ๊ฒฝ์˜ ํ•ด์ƒ๋ ฅ

๋ถ„ํ•ด๊ฑฐ๋ฆฌ (๋ถ„ํ•ด๋Šฅ) = $\frac{0.61\lambda}{n\times sin \alpha}$

($\lambda$ : ๋น›์˜ ํŒŒ์žฅ, $n$: ๋งค์งˆ์˜ ๊ตด์ ˆ๋ฅ , $\alpha$: ์ž…์‚ฌ๊ฐ)

$NA=n\times sin \alpha$

์‚ฌ๋žŒ์˜ ๋ˆˆ: 0.2mm / ๊ด‘ํ•™ํ˜„๋ฏธ๊ฒฝ: 0.2μm / SEM: 5nm / TEM: 0.2nm

 

์ ‘์•ˆ๋งˆ์ดํฌ๋กœ๋ฏธํ„ฐ๋ฅผ ์‚ฌ์šฉํ•˜๋Š” ์ด์œ 

  1. ์ ‘์•ˆ ๋งˆ์ดํฌ๋กœ๋ฏธํ„ฐ ๋ˆˆ๊ธˆ์€ ์‹œ๋ฃŒ์— ์˜ํ•ด ๊ฐ€๋ ค์ง€์ง€ ์•Š๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์ด๋‹ค.
  2. ์—ฌ๋Ÿฌ ๋ฐฉํ–ฅ์—์„œ ํฌ๊ธฐ๋ฅผ ์ธก์ •ํ•  ์ˆ˜ ์žˆ๊ธฐ ๋•Œ๋ฌธ์ด๋‹ค.